高纯水的国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：1.微电子工艺对水质的要求；2.制水工艺的水平；3.检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
天然水中溶解的气体主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡气、氯气等，在高纯水的生产过程中，还必需去除这类的气体。为了有效的去除杂质，在生产高纯水的过程中，加入了一些化学杀菌剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。这些都是为什么高纯水不能作为饮用水的原因之一。
那么什么为纯净水呢？所谓纯净水是指其水质清纯，不含任何杂质，由H2O一种单质构成。有效的避免了各类病菌入侵人体，其优点是能有效安全地给人体补充水份，具有很强的溶解度，因此与人体细胞亲合力很强，有促进新陈代谢的作用。
它是采用离子交换法、反渗透法、精微过滤及其他适当的物理加工方法进行深度处理后产生的水。一般情况下纯净水在生产过程中，源水只有50%-75%被利用，也就是说，1公斤自来水或地下水大约只能生产出0.4公斤左右的纯净水，而剩下的0.6公斤左右的水不能当作饮用水，只能另作它用。
反渗透机理模型
1.优先吸附细孔模型：弱点干态电镜下，没发现孔。湿态膜标本不是电镜的样品。
2.溶解扩散模型：不认为有孔。
3.干闭湿开模型，上个世纪，1993年，邓宇等提出了“干闭湿开”反渗透模型，统一了两个最经典的反渗透机制模型，细孔模型，溶解扩散模型。干闭湿开模型简述：膜干时收缩，孔闭合，电镜下膜“致密无孔”，称“干闭”；湿态时，膜溶胀，孔被溶剂撑开，生成动态活膜孔，叫“湿开”。合起来称“干闭湿开反渗透模型”。
影响意义
在我国，相关机构专门为此制定了一系列规定条文，并于1998年分别发布了GB17323-1998《瓶装饮用纯净水》标准和GB17324-1998《瓶装饮用纯净水卫生标准》，充分体现了国家对人民身体健康的重视和关心。
纯净水从净化的角度来说它比自来水，矿泉水都干净,但如果把他作为一种长期饮用水的话,对人体是没有好处的.过滤纯净水的逆渗透膜虽然去除了水中的细菌杂质,但也把水中的对人体有益的微量元素过滤掉了,.长期饮用会导人体的微量元素缺乏,引起少年儿童发育不良,引起老年人的各种微量元素缺乏症.